废止
2013-08-01
2013-10-01
2013-08-01
DB53/T 500-2013
云南省质量技术监督局
云南省质量技术监督局
制定
G10
71.040.40
制造业
方法标准
云南省
地方标准
38311-2013
2013-08-26
本标准规定了气相色谱法测定多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl 组分含量的方法。本标准适用于改良西门子法生产多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl含量的测定。测定范围: SiH2Cl2 >0.01%,SiCl4>0.01%,HCl>0.01%。
昆明冶研新材料股份有限公司
赵建为、张云晖、钱津旺、金波、亢若谷、马启坤、于晓艳、左世芳、陶明、杨红燕
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
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| SJ/T 11492-2015 | 光致发光法测定磷镓砷晶片的组分 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| YS/T 1434-2021 | 六氯乙硅烷组分含量的测定 气相色谱法 | 现行 | 2021-12-02 | 2022-04-01 |
| GB/T 17623-2026 | 绝缘油中溶解气体组分含量的气相色谱测定法 | 即将实施 | 2026-04-30 | 2026-08-01 |
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