圆形石英玻璃光掩模基板规范

Specification for round quartz photomask substrates

GB/T 16523-1996推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

1996-09-09

实施日期

1997-05-01

基础信息

标准号

GB/T 16523-1996

批准发布部门

国家标准委

技术归口

国家标准委

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

L90

国际标准分类号

31.200

标准层级

国家标准

GB/T 16523-1996 相关专题

GB/T 16523-1996 相似标准

标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
GB/T 16492-1996	光学和光学仪器环境要求总则、定义、气候带及其参数	现行	1996-08-13	1996-12-01