| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 16523-1996 | 圆形石英玻璃光掩模基板规范 | 现行 | 1996-09-09 | 1997-05-01 |
| GB/T 34178-2017 | 光掩模石英玻璃基板 | 现行 | 2017-09-07 | 2018-08-01 |
| GB/T 15871-1995 | 硬面光掩模基板 | 现行 | 1995-12-22 | 1996-08-01 |
| T/CSTM 01287-2024 | 航天信号传输用石英基板材料规范 | 现行 | 2024-08-30 | 2024-11-30 |
| GB/T 16524-1996 | 光掩模对准标记规范 | 现行 | 1996-09-09 | 1997-05-01 |
| SJ/T 11516-2015 | 薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| SJ/T 11863-2022 | 单片超大尺寸掩模板装载盒规范 | 现行 | 2022-10-20 | 2023-01-01 |
| GB/T 16880-1997 | 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则 | 现行 | 1997-06-20 | 1998-03-01 |
| GB/T 17866-1999 | 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则 | 现行 | 1999-09-13 | 2000-06-01 |
| GB/T 15870-1995 | 硬面光掩模用铬薄膜 | 现行 | 1995-12-22 | 1996-08-01 |
| GB/T 16879-1997 | 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则 | 现行 | 1997-06-20 | 1998-03-01 |
| SJ/T 10274-1991 | 掩模对准曝光机测试方法 | 现行 | 1991-11-12 | 1992-01-01 |
| SJ/T 31080-2016 | 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法 | 现行 | 2016-01-15 | 2016-06-01 |
| T/ZS 0344-2022 | 数字化无掩模激光直写光刻机 | 现行 | 2022-11-10 | 2022-11-17 |
| GB/T 32647-2025 | 平板显示器基板玻璃规范 | 现行 | 2025-08-01 | 2026-02-01 |
| GB/T 32648-2016 | 平板显示器基板玻璃包装箱装运规范 | 现行 | 2016-04-25 | 2016-11-01 |
| GB/T 32646-2016 | 平板显示器用基板玻璃包装规范 | 现行 | 2016-04-25 | 2016-11-01 |
| GB/T 32640-2016 | 平板显示器基板玻璃有效区域规范 | 废止 | 2016-04-25 | 2016-11-01 |