光掩模对准标记规范

Specification for registration marks for photomasks

GB/T 16524-1996 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

1996-09-09

实施日期

1997-05-01

基础信息

标准号

GB/T 16524-1996

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家技术监督局

技术归口

国家标准委

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

L95

国际标准分类号

31.200

标准层级

国家标准

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