光掩模对准标记规范

Specification for registration marks for photomasks

GB/T 16524-1996推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

1996-09-09

实施日期

1997-05-01

基础信息

标准号

GB/T 16524-1996

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家技术监督局

技术归口

国家标准委

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

国际标准分类号

标准层级

国家标准

GB/T 16524-1996 相关专题

GB/T 16524-1996 相似标准

标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
GB/T 16516-1996	石英晶体元件电子元器件质量评定体系规范第2部分:分规范能力批准	现行	1996-09-09	1996-05-01
SJ/T 10274-1991	掩模对准曝光机测试方法	现行	1991-11-12	1992-01-01