薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范

SJ/T 11516-2015SJ电子

现行

更新日期:2026-06-07

标准状态

发布日期

2015-04-30

实施日期

2015-10-01

基础信息

标准号

SJ/T 11516-2015

批准发布部门

工业和信息化部

制修订

制定

标准分类

标准类别

产品标准

标准分类

电子

中国标准分类号

L90

国际标准分类号

31.030

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

50573-2015

备案日期

2015-07-08

起草单位

深圳清溢光电股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人

万承华、张沛、熊启龙 等

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