薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范

SJ/T 11516-2015 SJ电子

现行

标准状态

发布日期

2015-04-30

实施日期

2015-10-01

基础信息

标准号

SJ/T 11516-2015

批准发布部门

工业和信息化部

技术归口

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

制修订

制定

标准分类

中国标准分类号

L90

国际标准分类号

31.030

标准类别

产品标准

标准分类

电子

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

50573-2015

备案日期

2015-07-08

起草单位

深圳清溢光电股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人

万承华、张沛、熊启龙等

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