首页/国家标准/推荐性国家标准 / GB/T 17866-1999

掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则

Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysisof mask defect inspection systems

GB/T 17866-1999 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

1999-09-13

实施日期

2000-06-01

基础信息

标准号

GB/T 17866-1999

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家质量技术监督局

技术归口

国家标准委

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

L56

国际标准分类号

31.200

标准层级

国家标准

专题

相似标准

标准号 标准名称 状态 发布日期 实施日期
GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则 现行 1999-09-13 2000-06-01
GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则 现行 1997-06-20 1998-03-01
GB/T 30020-2023 玻璃缺陷检测方法 光弹扫描法 现行 2023-03-17 2023-10-01
GB 10408.4-2000 入侵探测器 第4部分:主动红外入侵探测器 现行 2000-10-17 2001-06-01
GB 10408.5-2000 入侵探测器 第5部分:室内用被动红外探测器 现行 2000-10-17 2001-06-01