Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysisof mask defect inspection systems
现行
1999-09-13
2000-06-01
GB/T 17866-1999
国家标准委
国家质量技术监督局
国家标准委
该标准采用国际标准
L56
31.200
国家标准
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 16880-1997 | 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则 | 现行 | 1997-06-20 | 1998-03-01 |
| GB/T 30020-2023 | 玻璃缺陷检测方法 光弹扫描法 | 现行 | 2023-03-17 | 2023-10-01 |
| GB/T 18345.1-2001 | 燃气轮机 烟气排放 第1部分:测量与评估 | 现行 | 2001-03-26 | 2001-08-01 |