掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则

Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysisof mask defect inspection systems

GB/T 17866-1999推荐性国家标准

现行

相似
更新日期:2026-02-14

标准状态

发布日期

1999-09-13

实施日期

2000-06-01

基础信息

标准号

GB/T 17866-1999

批准发布部门

国家标准委

技术归口

国家标准委

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

L56

国际标准分类号

31.200

标准层级

国家标准

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