掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则

Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysisof mask defect inspection systems

GB/T 17866-1999 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

1999-09-13

实施日期

2000-06-01

基础信息

标准号

GB/T 17866-1999

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家质量技术监督局

技术归口

国家标准委

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

L56

国际标准分类号

31.200

标准层级

国家标准

专题

相似标准

标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
SJ/T 11683-2017	Java语言源代码缺陷控制与测试指南	现行	2017-04-12	2017-07-01
SJ/T 10890-2003	阴极射线管有效屏面缺陷规范	现行	2003-06-04	2003-10-01
SJ/T 11682-2017	C/C++语言源代码缺陷控制与测试规范	现行	2017-04-12	2017-07-01
GB/T 36404-2018	平板玻璃点状缺陷在线检测	现行	2018-06-07	2019-05-01
JC/T 401.3-2013	建材机械用铸钢件第3部分：缺陷处理规定	现行	2013-04-25	2013-09-01
YS/T 463-2003	铜及铜合金板带箔材产品缺陷	现行	2003-12-29	2004-05-01
GB/T 24300-2009	铜钨电触头缺陷检测方法	现行	2009-09-30	2010-02-01
GB/T 4823-2013	锯材缺陷	现行	2013-11-12	2014-04-11
GB/T 226-2015	钢的低倍组织及缺陷酸蚀检验法	现行	2015-09-11	2016-06-01
GB/T 30789.8-2015	色漆和清漆涂层老化的评价缺陷的数量和大小以及外观均匀变化程度的标识第8部分：划线或其它人造缺陷周边剥离和腐蚀等级的评定	现行	2015-05-15	2015-10-01
GB/T 16880-1997	光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则	现行	1997-06-20	1998-03-01
GB/T 30020-2023	玻璃缺陷检测方法光弹扫描法	现行	2023-03-17	2023-10-01
GB 10408.4-2000	入侵探测器第4部分:主动红外入侵探测器	现行	2000-10-17	2001-06-01
GB 10408.5-2000	入侵探测器第5部分:室内用被动红外探测器	现行	2000-10-17	2001-06-01