光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

Guidelines for photomask defect classification and size definition

GB/T 16880-1997 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

1997-06-20

实施日期

1998-03-01

基础信息

标准号

GB/T 16880-1997

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家技术监督局

技术归口

国家标准委

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

31.020

标准层级

国家标准

专题

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