Guidelines for photomask defect classification and size definition
现行
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 16880-1997 | 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则 | 现行 | 1997-06-20 | 1998-03-01 |
| GB/T 17866-1999 | 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则 | 现行 | 1999-09-13 | 2000-06-01 |
| GB/T 16879-1997 | 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则 | 现行 | 1997-06-20 | 1998-03-01 |
| SJ/T 11863-2022 | 单片超大尺寸掩模板装载盒规范 | 现行 | 2022-10-20 | 2023-01-01 |
| JB/T 12424-2015 | 电气用热固性模塑制品可视缺陷定义及分类（SMC/BMC） | 现行 | 2015-10-10 | 2016-03-01 |
| GB/T 16523-1996 | 圆形石英玻璃光掩模基板规范 | 现行 | 1996-09-09 | 1997-05-01 |
| GB/T 16524-1996 | 光掩模对准标记规范 | 现行 | 1996-09-09 | 1997-05-01 |
| GB/T 15871-1995 | 硬面光掩模基板 | 现行 | 1995-12-22 | 1996-08-01 |
| GB/T 15870-1995 | 硬面光掩模用铬薄膜 | 现行 | 1995-12-22 | 1996-08-01 |
| GB/T 34178-2017 | 光掩模石英玻璃基板 | 现行 | 2017-09-07 | 2018-08-01 |
| SJ/T 10274-1991 | 掩模对准曝光机测试方法 | 现行 | 1991-11-12 | 1992-01-01 |
| SJ/T 31080-2016 | 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法 | 现行 | 2016-01-15 | 2016-06-01 |
| SJ/T 11516-2015 | 薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| T/ZS 0344-2022 | 数字化无掩模激光直写光刻机 | 现行 | 2022-11-10 | 2022-11-17 |
| GB/T 28864.1-2012 | 软磁铁氧体磁心术语定义 第1部分：物理缺陷术语 | 现行 | 2012-11-05 | 2013-02-15 |
| GB/T 15757-2002 | 产品几何量技术规范(GPS) 表面缺陷 术语、定义及参数 | 现行 | 2002-07-15 | 2003-01-01 |
| GB/T 33523.73-2025 | 产品几何技术规范（GPS） 表面结构：区域法 第73部分：实物标准表面缺陷的术语和定义 | 现行 | 2025-05-30 | 2025-09-01 |
| YY/T 0924.1-2014 | 外科植入物 部分和全膝关节假体部件 第1部分：分类、定义和尺寸标注 | 现行 | 2014-06-17 | 2015-07-01 |