掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则

Guidelines for precision and accuracy expression for mask writing equipment

GB/T 16879-1997 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

1997-06-20

实施日期

1998-03-01

基础信息

标准号

GB/T 16879-1997

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家技术监督局

技术归口

国家标准委

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

31.020

标准层级

国家标准

专题

相似标准

标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
GB/T 6379.4-2006	测量方法与结果的准确度（正确度与精密度）第4部分：确定标准测量方法正确度的基本方法	现行	2006-11-13	2007-04-01
GB/T 6379.1-2004	测量方法与结果的准确度(正确度与精密度) 第1部分:总则与定义	现行	2004-06-02	2005-01-01
GB/T 6379.2-2004	测量方法与结果的准确度(正确度与精密度) 第2部分:确定标准测量方法重复性与再现性的基本方法	现行	2004-06-02	2005-01-01
GB/T 6379.3-2012	测量方法与结果的准确度(正确度与精密度) 第3部分：标准测量方法精密度的中间度量	现行	2012-11-05	2013-02-15
GB/T 30083-2013	铜、铅和锌矿及精矿计量方法的精密度和偏差	现行	2013-12-17	2014-09-01
GB/T 15338-2012	炭黑试验方法精密度和偏差的确认	现行	2012-06-29	2012-12-01
GB/T 27679-2011	铜、铅、锌和镍精矿检查取样精密度的实验方法	现行	2011-12-30	2012-10-01
WS/T 492-2016	临床检验定量测定项目精密度与正确度性能验证	现行	2016-07-07	2016-12-15
GB/T 4612-2008	塑料环氧化合物环氧当量的测定	现行	2008-08-04	2009-04-01
GB/T 29853.1-2013	信息技术业务操作视图第1部分：实现电子业务的业务操作	现行	2013-11-12	2014-03-15