掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则

Guidelines for precision and accuracy expression for mask writing equipment

GB/T 16879-1997推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-03-08
总页数:12页
格式:pdf

GB/T 16879-1997 相似标准 第1页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 16879-1997掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则现行1997-06-201998-03-01
SJ/T 10274-1991掩模对准曝光机测试方法现行1991-11-121992-01-01
GB/T 6379.3-2012测量方法与结果的准确度(正确度与精密度) 第3部分:标准测量方法精密度的中间度量现行2012-11-052013-02-15
GB/T 6379.2-2004测量方法与结果的准确度(正确度与精密度) 第2部分:确定标准测量方法重复性与再现性的基本方法现行2004-06-022005-01-01
GB/T 6379.1-2004测量方法与结果的准确度(正确度与精密度) 第1部分:总则与定义现行2004-06-022005-01-01
GB/T 6379.4-2006测量方法与结果的准确度(正确度与精密度) 第4部分:确定标准测量方法正确度的基本方法废止2006-11-132007-04-01
GB/T 6379.6-2009测量方法与结果的准确度(正确度与精密度) 第6部分:准确度值的实际应用现行2009-03-132009-09-01
GB/T 6379.5-2006测量方法与结果的准确度(正确度与精密度) 第5部分:确定标准测量方法精密度的可替代方法现行2006-11-132007-04-01
T/CSTM 00961-2022化学成分定量分析方法 准确度(正确度和精密度)符合性评价通则现行2022-12-092023-03-09
DB52/T 589-2009库仑滴定测硫仪 精密度和准确度校验方法废止2009-12-102009-12-10
DB52/T 587-2009自动工业分析仪 精密度和准确度校验方法废止2009-12-102009-12-10
DB52/T 586-2009碳氢测定仪 精密度和准确度校验方法废止2009-12-102009-12-10
GB/T 6379.4-2025测量方法与结果的准确度(正确度与精密度) 第4部分:确定标准测量方法正确度的基本方法即将实施2025-12-312026-07-01
GB/T 17866-1999掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则现行1999-09-132000-06-01
GB/T 16880-1997光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则现行1997-06-201998-03-01
GB/T 16523-1996圆形石英玻璃光掩模基板规范现行1996-09-091997-05-01
GB/T 16524-1996光掩模对准标记规范现行1996-09-091997-05-01
GB/T 15871-1995硬面光掩模基板现行1995-12-221996-08-01