掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则

Guidelines for precision and accuracy expression for mask writing equipment

GB/T 16879-1997推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-03-08
总页数:12页
格式:pdf

GB/T 16879-1997 相似标准 第5页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
T/CRES 0002-2018太阳定日镜跟踪准确度测量方法现行2018-10-082018-10-08
YY/T 1981-2025放射治疗计划软件 电子束剂量计算准确性要求和试验方法现行2025-06-182027-01-01
YY/T 1905-2023轻离子束放射治疗计划剂量计算准确性要求现行2023-09-052024-09-15
QX/T 243-2014风电场风速预报准确率评判方法废止2014-10-242015-03-01
QB/T 2841-2007乐器音准装置准确度等级判定废止2007-05-292007-12-01
DB1405/T 085-2025政务服务事项办事指南准确度评价规范废止2025-06-262025-09-26
T/CRES 0002-2018太阳定日镜跟踪准确度测量方法现行2018-10-082018-10-08
YD/T 857-1996公用数据网提供国际分组交换业务时的准确度和可靠度性能值现行1996-04-041997-09-01
T/CSAE 172-2021电动乘用车剩余里程准确度评价试验方法现行2021-02-262021-02-26
GB/T 8117.2-2026汽轮机热力性能验收试验规程 第2部分:各种类型和容量的汽轮机宽准确度试验即将实施2026-03-312026-10-01
JJG 2039-1989高准确度测量活度及光子发射率计量器具现行1989-09-111990-07-01
WS/T 492-2016临床检验定量测定项目精密度与正确度性能验证废止2016-07-072016-12-15
GB/T 2007.4-2008散装矿产品取样、制样通则 偏差、精密度校核试验方法现行2008-08-202009-04-01
GB/T 27679-2011铜、铅、锌和镍精矿 检查取样精密度的实验方法现行2011-12-302012-10-01
GB/T 15338-2012炭黑 试验方法精密度和偏差的确认现行2012-06-292012-12-01
GB/T 30083-2013铜、铅和锌矿及精矿 计量方法的精密度和偏差现行2013-12-172014-09-01
GB/T 6683.1-2021石油及相关产品 测量方法与结果精密度 第1部分:试验方法精密度数据的确定现行2021-10-112022-05-01
GB/T 14838-2009橡胶与橡胶制品 试验方法标准精密度的确定现行2009-06-152010-02-01