确定晶片坐标系规范

Specification for establishing a wafer coordinatesystem

GB/T 16596-1996推荐性国家标准

废止

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更新日期:2026-08-08

标准状态

发布日期

1996-11-04

实施日期

1997-04-01

基础信息

标准号

GB/T 16596-1996

批准发布部门

国家标准委

技术归口

国家标准委

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

H21

国际标准分类号

29.045

标准层级

国家标准

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