表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials

GB/T 20176-2025 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2025-06-30

实施日期

2026-01-01

基础信息

标准号

GB/T 20176-2025

批准发布部门

中国科学院

发布部门

国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会

技术归口

中国科学院

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

G04

国际标准分类号

71.040.40

标准层级

国家标准

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