电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材

High-Purity sputtering aluminium and aluminium alloy target used in electronic film

GB/T 29658-2013 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2013-09-06

实施日期

2014-05-01

基础信息

标准号

GB/T 29658-2013

批准发布部门

中国有色金属工业协会

发布部门

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

中国有色金属工业协会

标准分类

中国标准分类号

H61

国际标准分类号

77.120.10

标准层级

国家标准

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