表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定

Surface chemical analysis―Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy

GB/T 30701-2014 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2014-03-27

实施日期

2014-12-01

基础信息

标准号

GB/T 30701-2014

批准发布部门

中国科学院

发布部门

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

中国科学院

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

G04

国际标准分类号

71.040.40

标准层级

国家标准

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