Surface chemical analysis―Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 30701-2014 | 表面化学分析硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定 | 现行 | 2014-12-01 | 找相似 |
| GB/T 40110-2021 | 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染 | 现行 | 2021-12-01 | 找相似 |
| GB/T 6621-2009 | 硅片表面平整度测试方法 | 现行 | 2010-06-01 | 找相似 |
| GB/T 24577-2009 | 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物 | 现行 | 2010-06-01 | 找相似 |
| GB/T 29505-2013 | 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法 | 现行 | 2014-02-01 | 找相似 |
| GB/T 42789-2023 | 硅片表面光泽度的测试方法 | 现行 | 2024-03-01 | 找相似 |
| GB/T 30860-2014 | 太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法 | 现行 | 2015-04-01 | 找相似 |
| GB/T 39145-2020 | 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2021-09-01 | 找相似 |
| GB/T 40279-2021 | 硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法 | 现行 | 2022-03-01 | 找相似 |
| GB/T 42789-2023 | 硅片表面光泽度的测试方法（外文版EN） | 现行 | —— | 找相似 |
| GB/T 47906-2026 | 300mm硅片表面纳米形貌的评价方法 | 即将实施 | 2027-02-01 | 找相似 |
| GB/T 24578-2015 | 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法 | 废止 | 2017-01-01 | 找相似 |
| SJ/T 11629-2016 | 太阳能电池用硅片和电池片的在线光致发光分析方法 | 现行 | 2016-09-01 | 找相似 |
| GB/T 34174-2017 | 表面化学分析工作参考物质中离子注入产生的驻留面剂量定值的推荐程序 | 现行 | 2018-08-01 | 找相似 |
| GB/T 19922-2005 | 硅片局部平整度非接触式标准测试方法 | 现行 | 2006-04-01 | 找相似 |
| GB/T 26067-2010 | 硅片切口尺寸测试方法 | 现行 | 2011-10-01 | 找相似 |
| GB/T 29507-2013 | 硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法 | 现行 | 2014-02-01 | 找相似 |
| GB/T 32279-2015 | 硅片订货单格式输入规范 | 现行 | 2017-01-01 | 找相似 |