Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 24577-2009 | 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物 | 现行 | 2010-06-01 | 相似 |
| GB/T 16099-1995 | 车间空气中丙烯腈的热解吸气相色谱测定方法 | 废止 | 1996-07-01 | 相似 |
| GB/T 16063-1995 | 车间空气中甲醇的热解吸气相色谱测定方法 | 废止 | 1996-07-01 | 相似 |
| GB/T 16054-1995 | 车间空气中苯乙烯的热解吸气相色谱测定方法 | 废止 | 1996-07-01 | 相似 |
| GB/T 16089-1995 | 车间空气中氯乙烯的热解吸气相色谱测定方法 (DNP) | 废止 | 1996-07-01 | 相似 |
| GB/T 16075-1995 | 车间空气中环氧乙烷的热解吸气相色谱测定方法 | 废止 | 1996-07-01 | 相似 |
| GB/T 16051-1995 | 车间空气中二甲苯的热解吸气相色谱测定方法 | 废止 | 1996-07-01 | 相似 |
| GB/T 16048-1995 | 车间空气中甲苯的热解吸气相色谱测定方法 | 废止 | 1996-07-01 | 相似 |
| GB/T 16045-1995 | 车间空气中苯的热解吸气相色谱测定方法 | 废止 | 1996-07-01 | 相似 |
| GB/T 16039-1995 | 车间空气中溶剂汽油的热解吸气相色谱测定方法 | 废止 | 1996-07-01 | 相似 |
| WS/T 140-1999 | 作业场所空气中甲基异丁基甲酮的热解吸气相色谱测定方法 | 现行 | 2000-05-01 | 相似 |
| WS/T 167-1999 | 作业场所空气中双乙烯酮的热解吸气相色谱测定方法 | 现行 | 2000-05-01 | 相似 |
| WS/T 135-1999 | 作业场所空气中异丁醛的热解吸气相色谱测定方法 | 现行 | 2000-05-01 | 相似 |
| WS/T 136-1999 | 作业场所空气中异丙醚的热解吸气相色谱测定方法 | 现行 | 2000-05-01 | 相似 |
| GB/T 30701-2014 | 表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定 | 现行 | 2014-12-01 | 相似 |
| GB/T 40110-2021 | 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染 | 现行 | 2021-12-01 | 相似 |
| GB/T 39145-2020 | 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2021-09-01 | 相似 |
| GB/T 6621-2009 | 硅片表面平整度测试方法 | 现行 | 2010-06-01 | 相似 |