热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography

GB/T 24577-2009推荐性国家标准

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GB/T 24577-2009 相似标准 第4页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态实施日期相似标准
GB/T 17082-1997车间空气中乙酸丁酯的溶剂解吸气相色谱测定方法废止1998-12-01相似
GB/T 17081-1997车间空气中乙酸丙酯的溶剂解吸气相色谱测定方法废止1998-12-01相似
GB/T 17080-1997车间空气中乙酸乙酯的溶剂解吸气相色谱测定方法废止1998-12-01相似
GB/T 17079-1997车间空气中乙酸甲酯的溶剂解吸气相色谱测定方法废止1998-12-01相似
WS/T 72-1996车间空气中丙烯醇的溶剂解吸气相色谱测定方法现行1997-05-01相似
WS/T 138-1999作业场所空气中1,2-二氯乙烷的溶剂解吸气相色谱测定方法现行2000-05-01相似
WS/T 142-1999作业场所空气中苯胺的溶剂解吸气相色谱测定方法现行2000-05-01相似
WS/T 143-1999作业场所空气中甲醇的溶剂解吸气相色谱测定方法现行2000-05-01相似
WS/T 157-1999作业场所空气中氯苯的扩散法采样溶剂解吸气相色谱测定方法现行2000-05-01相似
WS/T 158-1999作业场所空气中1,4-丁内酯的溶剂解吸气相色谱测定方法现行2000-05-01相似
WS/T 139-1999作业场所空气中甲基异丁基甲酮的溶剂解吸气相色谱测定方法现行2000-05-01相似
WS/T 134-1999作业场所空气中联苯-苯醚的溶剂解吸气相色谱测定方法现行2000-05-01相似
WS/T 133-1999作业场所空气中倍硫磷的溶剂解吸气相色谱测定方法现行2000-05-01相似
WS/T 137-1999作业场所空气中氯苯的溶剂解吸气相色谱测定方法现行2000-05-01相似
WS/T 164-1999作业场所空气中丁胺的溶剂解吸气相色谱测定方法现行2000-05-01相似
GB/T 43905.5-2024焊接及相关工艺中烟尘和气体取样的实验室方法 第5部分:基于热解-气相色谱-质谱法的焊接或切割中有机材料热降解物的识别现行2024-11-01相似
SY/T 6188-2016岩石热解气相色谱分析方法现行2017-05-01相似
SY/T 6188-1996岩石热解气相色谱分析方法废止1997-03-01相似