Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 29505-2013 | 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法 | 现行 | 2014-02-01 | 找相似 |
| GB/T 42789-2023 | 硅片表面光泽度的测试方法 | 现行 | 2024-03-01 | 找相似 |
| GB/T 30860-2014 | 太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法 | 现行 | 2015-04-01 | 找相似 |
| GB/T 40279-2021 | 硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法 | 现行 | 2022-03-01 | 找相似 |
| GB/T 42789-2023 | 硅片表面光泽度的测试方法（外文版EN） | 现行 | —— | 找相似 |
| GB/T 47906-2026 | 300mm硅片表面纳米形貌的评价方法 | 即将实施 | 2027-02-01 | 找相似 |
| GB/T 24578-2015 | 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法 | 废止 | 2017-01-01 | 找相似 |
| SJ/T 12004-2025 | 电子电气产品中邻苯二甲酸酯类物质的测定热解析-气相色谱法 | 现行 | 2026-02-01 | 找相似 |
| GB/T 17085-1997 | 车间空气中2-乙氧基乙醇的溶剂解吸气相色谱测定方法 | 废止 | 1998-12-01 | 找相似 |
| GB/T 17091-1997 | 车间空气中丁酮的溶剂解吸气相色谱测定方法 | 废止 | 1998-12-01 | 找相似 |
| GB/T 16122-1995 | 车间空气中甲拌磷的溶剂解吸气相色谱测定方法 | 废止 | 1996-07-01 | 找相似 |
| GB/T 16121-1995 | 车间空气中对硫磷的溶剂解吸气相色谱测定方法 | 废止 | 1996-07-01 | 找相似 |
| GB/T 16120-1995 | 车间空气中敌敌畏的溶剂解吸气相色谱测定方法 | 废止 | 1996-07-01 | 找相似 |
| GB/T 16097-1995 | 车间空气中丙烯腈的溶剂解吸气相色谱测定方法 | 废止 | 1996-07-01 | 找相似 |
| GB/T 16096-1995 | 车间空气中乙腈的溶剂解吸气相色谱测定方法 | 废止 | 1996-07-01 | 找相似 |
| GB/T 16059-1995 | 车间空气中丙酮的溶剂解吸气相色谱测定方法 | 废止 | 1996-07-01 | 找相似 |
| GB/T 16056-1995 | 车间空气中萘的溶剂解吸气相色谱测定方法 | 废止 | 1996-07-01 | 找相似 |
| GB/T 16073-1995 | 车间空气中酚的溶剂解吸气相色谱测定方法 | 废止 | 1996-07-01 | 找相似 |