300mm硅片表面纳米形貌的评价方法

Practice methods for nanotopography of 300 mm silicon wafer surface

GB/T 47906-2026 推荐性国家标准

即将实施

标准状态

发布日期

2026-07-02

实施日期

2027-02-01

基础信息

标准号

GB/T 47906-2026

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

H21

国际标准分类号

77.040

标准层级

国家标准

GB/T 47906-2026 相关专题

GB/T 47906-2026 相似标准

标准号 标准名称 状态 发布日期 实施日期
T/CPIA 0037-2022 光伏晶体硅片规范 现行 2022-03-30 2022-04-15
GB/T 19444-2025 硅片氧沉淀特性的测试 间隙氧含量减少法 现行 2025-06-30 2026-01-01
GB/T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法 现行 2018-12-28 2019-11-01
GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接触式标准测试方法 现行 2005-09-19 2006-04-01
GB/T 39145-2020 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 现行 2020-10-11 2021-09-01
YB/T 4397-2014 切割硅片用电镀黄铜钢丝 现行 2014-05-06 2014-10-01
SJ/T 10627-1995 通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法 现行 1995-04-22 1995-10-01
T/CPIA 0057-2024 光伏硅片多线切割机技术要求 现行 2024-03-10 2024-03-15
GB/T 34479-2017 硅片字母数字标志规范 现行 2017-10-14 2018-07-01
SJ/T 11628-2016 太阳能电池用硅片尺寸及电学表征在线测试方法 现行 2016-04-05 2016-09-01
GB/T 43315-2023 硅片流动图形缺陷的检测 腐蚀法 现行 2023-11-27 2024-06-01
T/CPIA 0061-2024 质量分级及“领跑者”评价要求 光伏硅片 现行 2024-03-10 2024-03-15
GB/T 6619-2009 硅片弯曲度测试方法 现行 2009-10-30 2010-06-01
T/CSTE 0535-2024 质量分级及“领跑者”评价要求 光伏硅片 现行 2024-03-10 2024-03-15
GB/T 11073-2025 硅片径向电阻率变化测量方法 即将实施 2025-10-31 2026-05-01
HG/T 5962-2021 硅片切割废液处理处置方法 现行 2021-08-21 2022-02-01
GB/T 30860-2014 太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法 现行 2014-07-24 2015-04-01
YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法 现行 2016-07-11 2017-01-01
JC/T 2065-2011 太阳能电池硅片用石英舟 现行 2011-12-20 2012-07-01
SJ/T 11630-2016 太阳能电池用硅片几何尺寸测试方法 现行 2016-04-05 2016-09-01
T/QGCML 2024-2023 掺镓硅片技术生产管理办法 现行 2023-11-03 2023-11-24
GB/T 11073-2007 硅片径向电阻率变化的测量方法 废止 2007-09-11 2008-02-01
T/CPIA 0022-2020 光伏硅片制造业绿色工厂评价要求 现行 2020-03-10 2020-03-20
SJ/T 11627-2016 太阳能电池用硅片电阻率在线测试方法 现行 2016-04-05 2016-09-01
GB/T 6617-2009 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法 现行 2009-10-30 2010-06-01
GB/T 47797-2026 政务服务平台适老化服务建设指南 即将实施 2026-07-02 2026-11-01