| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 47906-2026 | 300mm硅片表面纳米形貌的评价方法 | 即将实施 | 2026-07-02 | 2027-02-01 |
| GB/T 28873-2012 | 纳米颗粒生物形貌效应的环境扫描电子显微镜检测方法通则 | 现行 | 2012-11-05 | 2013-02-15 |
| GB/T 46972-2026 | 纳米技术 外泌体形貌和尺寸测量 原子力显微术 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-08-01 |
| GB/T 33523.600-2025 | 产品几何技术规范（GPS） 表面结构：区域法 第600部分：区域形貌测量方法的计量特性 | 现行 | 2025-03-28 | 2025-03-28 |
| T/JDZCA 0004-2023 | 陶瓷艺术品特征提取方法表面形貌结构测试方法 | 现行 | 2023-10-18 | 2023-10-19 |
| GB/T 33523.700-2025 | 产品几何技术规范（GPS） 表面结构：区域法 第700部分：区域形貌测量仪器的校准、调整和验证 | 现行 | 2025-05-30 | 2025-09-01 |
| GB/T 6621-2009 | 硅片表面平整度测试方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 30701-2014 | 表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定 | 现行 | 2014-03-27 | 2014-12-01 |
| GB/T 29505-2013 | 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法 | 现行 | 2013-05-09 | 2014-02-01 |
| GB/T 42789-2023 | 硅片表面光泽度的测试方法 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| GB/T 30860-2014 | 太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法 | 现行 | 2014-07-24 | 2015-04-01 |
| GB/T 42789-2023 | 硅片表面光泽度的测试方法（外文版EN） | 现行 | 2024-04-12 | |
| GB/T 24578-2015 | 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法 | 废止 | 2015-12-10 | 2017-01-01 |
| GB/T 24577-2009 | 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 40110-2021 | 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染 | 现行 | 2021-05-21 | 2021-12-01 |
| GB/T 39145-2020 | 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2020-10-11 | 2021-09-01 |
| GB/T 40279-2021 | 硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法 | 现行 | 2021-08-20 | 2022-03-01 |
| WW/T 0055-2014 | 古代陶瓷科技信息提取规范 形貌结构分析方法 | 现行 | 2014-04-24 | 2014-06-01 |