Test method for measuring surface metal contamination on silicon wafers by total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy
2015-12-10
2017-01-01
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
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| JTG/T 3912-04-2022 | 装配化箱形组合梁钢桥通用图-双向四车道上部结构3×60m | 现行 | 2022-11-15 | 2023-03-01 |
| GB/T 24578-2015 | 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法 | 废止 | 2015-12-10 | 2017-01-01 |