硅片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法

Test method for the content of surface metal elements on silicon wafers—Inductively coupled plasma mass spectrometry

GB/T 39145-2020 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2020-10-11

实施日期

2021-09-01

基础信息

标准号

GB/T 39145-2020

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

H17

国际标准分类号

77.040

标准层级

国家标准

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