主要技术内容
本文件规定了采用MEMS技术制作局部放电EFPI光纤超声传感器探头时SOI硅片应遵循的工艺规范，包括工艺流程、工艺要求、其他要求及检验。本文件适用于电力设备局部放电EFPI超声传感器探头SOI芯片的制造和检验。
MEMS fabrication technology of EFPI fiber optic ultrasonic sensor probe for partial discharge detectionPart 1: process specification using the SOI wafer
现行
2022-12-01
2023-02-01
T/SEPA 4-2022
上海市电力行业协会
否
K40
29.020
D441 电力生产
团体标准
本文件规定了采用MEMS技术制作局部放电EFPI光纤超声传感器探头时SOI硅片应遵循的工艺规范，包括工艺流程、工艺要求、其他要求及检验。 本文件适用于电力设备局部放电EFPI超声传感器探头SOI芯片的制造和检验。
本文件规定了采用MEMS技术制作局部放电EFPI光纤超声传感器探头时SOI硅片应遵循的工艺规范，包括工艺流程、工艺要求、其他要求及检验。本文件适用于电力设备局部放电EFPI超声传感器探头SOI芯片的制造和检验。
国网上海市电力公司、西北工业大学、国网宁夏电力有限公司电力科学研究院、国网智能电网研究院有限公司、国网山西省电力公司、西安茂荣电力设备有限公司、华东电力试验研究院有限公司
司文荣、虞益挺、傅晨钊、吴旭涛、鞠登峰、黄辉、赵莹莹、陆启宇、吴欣烨、聂鹏晨、卢晶、周秀、何宁辉、药炜、陈川、梁基重、张莹、朱炯、胡正勇、倪鹤立、王伟、曹培
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| DB31/ 792-2014 | 硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额 | 有更新版 | 2014-04-15 | 2014-08-01 |
| YS/T 28-2024 | 硅片包装和标志 | 现行 | 2024-10-24 | 2025-05-01 |
| T/CPIA 0022-2020 | 光伏硅片制造业绿色工厂评价要求 | 现行 | 2020-03-10 | 2020-03-20 |
| T/CPIA 0021-2020 | 绿色设计产品评价技术规范 光伏硅片 | 现行 | 2020-03-10 | 2020-03-20 |
| GB/T 47906-2026 | 300mm硅片表面纳米形貌的评价方法 | 即将实施 | 2026-07-02 | 2027-02-01 |
| T/CSTE 0535-2024 | 质量分级及“领跑者”评价要求 光伏硅片 | 现行 | 2024-03-10 | 2024-03-15 |
| SJ/T 11631-2016 | 太阳能电池用硅片外观缺陷测试方法 | 现行 | 2016-04-05 | 2016-09-01 |
| SJ/T 11630-2016 | 太阳能电池用硅片几何尺寸测试方法 | 现行 | 2016-04-05 | 2016-09-01 |
| SJ/T 11632-2016 | 太阳能电池用硅片微裂纹缺陷的测试方法 | 现行 | 2016-04-05 | 2016-09-01 |
| SJ/T 11627-2016 | 太阳能电池用硅片电阻率在线测试方法 | 现行 | 2016-04-05 | 2016-09-01 |
| SJ/T 11628-2016 | 太阳能电池用硅片尺寸及电学表征在线测试方法 | 现行 | 2016-04-05 | 2016-09-01 |
| YS/T 26-2016 | 硅片边缘轮廓检验方法 | 现行 | 2016-07-11 | 2017-01-01 |
| T/CPIA 0022-2020 | 光伏硅片制造业绿色工厂评价要求 | 现行 | 2020-03-10 | 2020-03-20 |
| T/CPIA 0037-2022 | 光伏晶体硅片规范 | 现行 | 2022-03-30 | 2022-04-15 |
| T/CPIA 0057-2024 | 光伏硅片多线切割机技术要求 | 现行 | 2024-03-10 | 2024-03-15 |
| T/CPIA 0061-2024 | 质量分级及“领跑者”评价要求 光伏硅片 | 现行 | 2024-03-10 | 2024-03-15 |
| T/QGCML 2024-2023 | 掺镓硅片技术生产管理办法 | 现行 | 2023-11-03 | 2023-11-24 |
| GB/T 11073-2025 | 硅片径向电阻率变化测量方法 | 即将实施 | 2025-10-31 | 2026-05-01 |
| GB/T 39145-2020 | 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2020-10-11 | 2021-09-01 |
| GB/T 19444-2025 | 硅片氧沉淀特性的测试 间隙氧含量减少法 | 现行 | 2025-06-30 | 2026-01-01 |
| DB31/ 792-2020 | 硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额 | 有更新版 | 2020-03-25 | 2020-06-01 |
| GB/T 30860-2014 | 太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法 | 现行 | 2014-07-24 | 2015-04-01 |
| SJ/T 10627-1995 | 通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法 | 现行 | 1995-04-22 | 1995-10-01 |
| GB/T 42789-2023 | 硅片表面光泽度的测试方法 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| T/QGCML 4723-2024 | 乘用车遮阳板总成试验规范 | 现行 | 2024-09-13 | 2024-09-28 |