通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法

SJ/T 10627-1995 SJ电子

现行

标准状态

发布日期

1995-04-22

实施日期

1995-10-01

基础信息

标准号

SJ/T 10627-1995

批准发布部门

电子工业部

制修订

制定

标准分类

标准类别

无

标准分类

电子

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

0044-1995

备案日期

2014-12-26

专题

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