硅片局部平整度非接触式标准测试方法

Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning

GB/T 19922-2005 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2005-09-19

实施日期

2006-04-01

基础信息

标准号

GB/T 19922-2005

批准发布部门

工业和信息化部（电子）

发布部门

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

工业和信息化部（电子）

标准分类

中国标准分类号

H17

国际标准分类号

77.040.01

标准层级

国家标准

专题

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