Test method for measuring resistivity of silicon wafer using spreading resistance probe
现行
2009-10-30
2010-06-01
GB/T 6617-2009
国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
H80
29.045
国家标准
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
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| DB31/ 792-2020 | 硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额 | 有更新版 | 2020-03-25 | 2020-06-01 |
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| SJ/T 11627-2016 | 太阳能电池用硅片电阻率在线测试方法 | 现行 | 2016-04-05 | 2016-09-01 |
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| T/CPIA 0022-2020 | 光伏硅片制造业绿色工厂评价要求 | 现行 | 2020-03-10 | 2020-03-20 |
| DB31/T 792-2026 | 硅单晶棒及单晶硅片单位产品能源消耗限额 | 现行 | 2026-02-14 | 2026-06-01 |
| GB/T 32814-2016 | 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范 | 现行 | 2016-08-29 | 2017-03-01 |
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