硅片参考面结晶学取向X射线测试方法

Method for measuring crystallographic orientation of flats on single-crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques

GB/T 13388-2009推荐性国家标准

现行

相似
更新日期:2026-02-21

标准状态

发布日期

2009-10-30

实施日期

2010-06-01

基础信息

标准号

GB/T 13388-2009

批准发布部门

国家标准委

技术归口

国家标准委

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

H80

国际标准分类号

29.045

标准层级

国家标准

GB/T 13388-2009 相关专题

GB/T 13388-2009 相似标准

标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 24481-20093C产品用镁合金薄板现行2009-10-302010-06-01
YS/T 1904-2026再生硅片即将实施2026-08-182027-04-01
T/SEPA 4-2022局部放电EFPI光纤超声传感器探头MEMS制造技术 第1部分:基于SOI硅片的工艺规范现行2022-12-012023-02-01
DB31/ 792-2014硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额有更新版2014-04-152014-08-01