硅片参考面结晶学取向X射线测试方法

Method for measuring crystallographic orientation of flats on single-crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques

GB/T 13388-2009 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2009-10-30

实施日期

2010-06-01

基础信息

标准号

GB/T 13388-2009

批准发布部门

国家标准委

发布部门

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

H80

国际标准分类号

29.045

标准层级

国家标准

专题

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