硅片和硅锭载流子复合寿命的测试非接触微波反射光电导衰减法

Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers and silicon ingots—Non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance method

GB/T 26068-2018 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2018-12-28

实施日期

2019-11-01

基础信息

标准号

GB/T 26068-2018

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

H21

国际标准分类号

77.040

标准层级

国家标准

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