硅片流动图形缺陷的检测腐蚀法

Test method for flow pattern defects in silicon wafer—Etching technique

GB/T 43315-2023 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2023-11-27

实施日期

2024-06-01

基础信息

标准号

GB/T 43315-2023

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

H21

国际标准分类号

77.040

标准层级

国家标准

专题

相似标准

标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
HG/T 5962-2021	硅片切割废液处理处置方法	现行	2021-08-21	2022-02-01
JC/T 2066-2011	太阳能电池硅片用石英玻璃扩散管	现行	2011-12-20	2012-07-01
JC/T 2065-2011	太阳能电池硅片用石英舟	现行	2011-12-20	2012-07-01
YB/T 4397-2014	切割硅片用电镀黄铜钢丝	现行	2014-05-06	2014-10-01
GB/T 6617-2009	硅片电阻率测定扩展电阻探针法	现行	2009-10-30	2010-06-01
GB/T 32814-2016	硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范	现行	2016-08-29	2017-03-01
GB/T 34479-2017	硅片字母数字标志规范	现行	2017-10-14	2018-07-01
GB/T 26068-2018	硅片和硅锭载流子复合寿命的测试非接触微波反射光电导衰减法	现行	2018-12-28	2019-11-01
GB/T 6619-2009	硅片弯曲度测试方法	现行	2009-10-30	2010-06-01
GB/T 13388-2009	硅片参考面结晶学取向X射线测试方法	现行	2009-10-30	2010-06-01
GB/T 19922-2005	硅片局部平整度非接触式标准测试方法	现行	2005-09-19	2006-04-01
GB/T 6621-2009	硅片表面平整度测试方法	现行	2009-10-30	2010-06-01
GB/T 26067-2010	硅片切口尺寸测试方法	现行	2011-01-10	2011-10-01
GB/T 39943-2021	LED灯串性能要求	现行	2021-03-09	2021-10-01
GB 44499-2024	家用和类似用途电器节能环保规范	即将实施	2024-08-23	2026-09-01