硅片径向电阻率变化的测量方法

Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices

GB/T 11073-2007 推荐性国家标准

废止

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标准状态

发布日期

2007-09-11

实施日期

2008-02-01

基础信息

标准号

GB/T 11073-2007

批准发布部门

国家标准委

发布部门

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

H17

国际标准分类号

77.040.01

标准层级

国家标准

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