硅片径向电阻率变化的测量方法

Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices

GB/T 11073-2007推荐性国家标准

废止

更新日期:2026-03-14

标准状态

发布日期

2007-09-11

实施日期

2008-02-01

基础信息

标准分类

中国标准分类号

H17

国际标准分类号

77.040.01

标准层级

国家标准

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