硅片径向电阻率变化的测量方法

Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices

GB/T 11073-2007推荐性国家标准

废止

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更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态实施日期相似标准
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GB/T 11073-2025硅片径向电阻率变化测量方法即将实施2026-05-01找相似
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GB/T 29507-2013硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法现行2014-02-01找相似
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GB/T 17949.1-2000接地系统的土壤电阻率、接地阻抗和地面电位测量导则 第1部分:常规测量现行2000-08-01找相似
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GB/T 40007-2021纳米技术 纳米材料电阻率的接触式测量方法 通则现行2021-12-01找相似