Test methods for measuring resistivity of semiconductor wafers or sheet resistance of semiconductor films with a noncontact eddy-current gauge
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 6616-2009 | 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法 | 废止 | 2010-06-01 | 找相似 |
| GB/T 6616-2023 | 半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法 | 现行 | 2024-03-01 | 找相似 |
| SJ/T 11487-2015 | 半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法 | 现行 | 2015-10-01 | 找相似 |
| GB/T 6617-2009 | 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法 | 现行 | 2010-06-01 | 找相似 |
| GB/T 11073-2007 | 硅片径向电阻率变化的测量方法 | 废止 | 2008-02-01 | 找相似 |
| GB/T 11073-2025 | 硅片径向电阻率变化测量方法 | 即将实施 | 2026-05-01 | 找相似 |
| SJ/T 11627-2016 | 太阳能电池用硅片电阻率在线测试方法 | 现行 | 2016-09-01 | 找相似 |
| GB/T 47239.6-2026 | 半导体器件 柔性可拉伸半导体器件 第6部分：柔性导电薄膜的薄层电阻测试方法 | 即将实施 | 2027-03-01 | 找相似 |
| SJ/T 1146-1993 | 电容器用有机薄膜体积电阻率试验方法 | 废止 | 1994-06-01 | 找相似 |
| GB/T 3048.3-2007 | 电线电缆电性能试验方法 第3部分：半导电橡塑材料体积电阻率试验 | 现行 | 2008-05-01 | 找相似 |
| T/GVS 005-2022 (2) | 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范 | 现行 | 2022-03-28 | —— |
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| T/QGCML 4791-2024 | 半导体薄膜沉积 技术要求 | 现行 | 2024-11-01 | —— |
| GB/T 42709.2-2026 | 半导体器件 微电子机械器件 第2部分：薄膜材料拉伸试验方法 | 即将实施 | 2026-11-01 | 找相似 |
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| GB/T 42709.21-2026 | 半导体器件 微电子机械器件 第21部分：MEMS薄膜材料泊松比测试方法 | 即将实施 | 2027-02-01 | 找相似 |