Test method for measuring resistivity of silicon wafer using spreading resistance probe
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 6617-2009 | 硅片电阻率测定扩展电阻探针法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 1551-2021 | 硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法 | 现行 | 2021-05-21 | 2021-12-01 |
| DB13/T 5026.3-2019 | 石墨烯导电浆料物理性质的测定方法 第3部分：浆料极片电阻率的测定 四探针法 | 废止 | 2019-07-04 | 2019-08-01 |
| YS/T 602-2017 | 区熔锗锭电阻率测试方法 两探针法 | 现行 | 2017-07-07 | 2018-01-01 |
| GB/T 39978-2021 | 纳米技术 碳纳米管粉体电阻率 四探针法 | 现行 | 2021-05-21 | 2021-12-01 |
| T/CASAS 019-2021 | 微纳米金属烧结体电阻率测试方法 四探针法 | 现行 | 2021-11-01 | 2021-12-01 |
| T/CSTM 00252-2020 | 碳纤维体积电阻率试验方法 四探针法 | 现行 | 2020-07-24 | 2020-10-24 |
| YS/T 602-2007 | 区熔锗锭电阻率测试方法 两探针法 | 废止 | 2007-11-14 | 2008-05-01 |
| T/CSTM 00252-2020 | 碳纤维体积电阻率试验方法 四探针法 | 现行 | 2020-07-24 | 2020-10-24 |
| GB/T 11073-2007 | 硅片径向电阻率变化的测量方法 | 废止 | 2007-09-11 | 2008-02-01 |
| GB/T 11073-2025 | 硅片径向电阻率变化测量方法 | 即将实施 | 2025-10-31 | 2026-05-01 |
| SJ/T 11627-2016 | 太阳能电池用硅片电阻率在线测试方法 | 现行 | 2016-04-05 | 2016-09-01 |
| GB/T 6616-2009 | 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法 | 废止 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 14141-2009 | 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| YB/T 6166-2024 | 石墨烯薄膜 方块电阻的测定 四探针法 | 现行 | 2024-03-29 | 2024-10-01 |
| DB32/T 4378-2022 | 衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法 | 现行 | 2022-10-23 | 2022-11-23 |
| GB/T 3781.9-2025 | 乙炔炭黑 第9部分：电阻率的测定 | 即将实施 | 2025-08-29 | 2026-03-01 |
| GB/T 16906-1997 | 石油罐导静电涂料电阻率测定法 | 现行 | 1997-07-02 | 1998-03-01 |