主要技术内容
本文件规定了第三代半导体器件封装用微纳米金属烧结体的电阻率测试方法。本文件适用于第三代半导体器件封装用微纳米金属烧结体的电阻率测试评价；此烧结体不包含烧结件的被连接件（如芯片）、连接基体。本方法适用于直径大于探针间距10倍、厚度小于探针间距4倍的微纳米金属烧结体圆形样品体积电阻率的测试，不适用于薄膜样品方块电阻的测试。
下载电子版
正在请求下载信息...
Test method for resistivity of micro and nano metal sintered compact: four probe method
现行
2021-11-01
2021-12-01
T/CASAS 019-2021
北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
否
31.080.01 半导体器分立件综合
C397 电子器件制造
团体标准
本文件规定了第三代半导体器件封装用微纳米金属烧结体的电阻率测试方法。 本文件适用于第三代半导体器件封装用微纳米金属烧结体的电阻率测试评价；此烧结体不包含烧结件的被连接件（如芯片）、连接基体。 本方法适用于直径大于探针间距10倍、厚度小于探针间距4倍的微纳米金属烧结体圆形样品体积电阻率的测试，不适用于薄膜样品方块电阻的测试。
本文件规定了第三代半导体器件封装用微纳米金属烧结体的电阻率测试方法。本文件适用于第三代半导体器件封装用微纳米金属烧结体的电阻率测试评价；此烧结体不包含烧结件的被连接件（如芯片）、连接基体。本方法适用于直径大于探针间距10倍、厚度小于探针间距4倍的微纳米金属烧结体圆形样品体积电阻率的测试，不适用于薄膜样品方块电阻的测试。
北京半导体照明科技促进中心、南方科技大学、有研粉末新材料股份有限公司、北京康普锡威科技有限公司、上海贺利氏工业技术材料有限公司、国家纳米科学中心、广州四探针科技有限公司、哈尔滨理工大学、工业和信息化部电子第五研究所、中国科学院微电子研究所、复旦大学、深圳基本半导体有限公司、广东工业大学、西安交通大学、重庆大学、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟、BOSCHMANTECHNOLOGY
张国旗，叶怀宇、刘旭、张靖、张敬国、赵朝晖、梁明会、刘洋、王可、唐宏浩、周斌、樊嘉杰、刘盼、张凯、王来利、田天成、赵璐冰、高伟
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/CASME 1362-2024 | 细胞外囊泡探针分子合成技术规范 | 现行 | 2024-03-15 | 2024-03-30 |
| GB/T 26074-2010 | 锗单晶电阻率直流四探针测量方法 | 现行 | 2011-01-10 | 2011-10-01 |
| SJ/T 10315-1992 | 四探针探头通用技术条件 | 现行 | 1992-06-15 | 1992-12-01 |
| SJ/T 10314-1992 | 直流四探针电阻率测试通用技术条件 | 现行 | 1992-06-15 | 1992-12-01 |
| SJ/T 10481-1994 | 硅外延层电阻率的面接触三探针方法 | 现行 | 1994-04-11 | 1994-10-01 |
| YY/T 1014-2021 | 牙科学 牙探针 | 现行 | 2021-03-09 | 2022-04-01 |
| YY/T 0172-2014 | 子宫探针 | 现行 | 2014-06-17 | 2015-07-01 |
| GB/T 43845-2024 | 基于扫描氮-空位探针的微弱静磁场成像测量方法 | 现行 | 2024-04-25 | 2024-11-01 |
| YS/T 602-2017 | 区熔锗锭电阻率测试方法 两探针法 | 现行 | 2017-07-07 | 2018-01-01 |
| GB/T 39518-2020 | 产品几何技术规范（GPS） 使用单探针和多探针接触式探测系统坐标测量机的检测不确定度评估指南 | 现行 | 2020-11-19 | 2021-06-01 |
| SN/T 3399-2012 | 大豆茎溃疡病菌检疫鉴定方法--TaqMan MGB探针实时荧光PCR检测方法 | 现行 | 2012-12-12 | 2013-07-01 |
| GB/T 16857.5-2017 | 产品几何技术规范（GPS） 坐标测量机的验收检测和复检检测 第5部分：使用单探针或多探针接触式探测系统的坐标测量机 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| GB/T 1551-2021 | 硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法 | 现行 | 2021-05-21 | 2021-12-01 |
| JY/T 0582-2020 | 扫描探针显微镜分析方法通则 | 现行 | 2020-09-29 | 2020-12-01 |
| DB22/T 3089-2019 | 羊传染性脓疱病毒检测 荧光PCR探针法 | 现行 | 2019-12-25 | 2020-02-01 |
| GB/T 15394-1994 | 多探针测试台通用技术条件 | 现行 | 1994-12-28 | 1995-08-01 |
| GB/T 29190-2012 | 扫描探针显微镜漂移速率测量方法 | 现行 | 2012-12-31 | 2013-06-01 |
| YD/T 4705-2024 | 网络空间安全仿真 网络采集探针实施技术要求 | 现行 | 2024-03-29 | 2024-07-01 |
| SN/T 5315-2021 | 光催化自洁陶瓷性能测试方法 荧光探针法 | 现行 | 2021-11-22 | 2022-06-01 |
| T/CASAS 020-2021 | 微纳米金属烧结体热导率试验方法 闪光法 | 现行 | 2021-11-01 | 2021-12-01 |
| T/CASAS 018-2021 | 微纳米金属烧结连接件 剪切强度试验方法 | 现行 | 2021-11-01 | 2021-12-01 |
正在请求下载信息...