硅片电阻率测定 扩展电阻探针法

Test method for measuring resistivity of silicon wafer using spreading resistance probe

GB/T 6617-2009推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-03-01
格式:pdf

GB/T 6617-2009 相似标准 第3页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
YS/T 963-2014煅后石油焦粉末电阻率测定仪现行2014-10-142015-04-01
GB/T 3781.9-2019乙炔炭黑 第9部分:电阻率的测定废止2019-08-302020-07-01
YS/T 63.2-2006铝用碳素材料检测方法 第2部分:阴极炭块和预焙阳极 室温电阻率的测定废止2006-03-072006-08-01
YS/T 64-1993铝电解用炭素制品电阻率测定方法废止1993-03-171994-04-01
DB13/T 5537-2022向列相热致液晶单体电阻率的测定 直流电压法废止2022-02-282022-03-31
GB/T 5167-1985烧结金属材料和硬质合金电阻率的测定废止1985-05-081986-02-01
GB/T 16427-1996粉尘层电阻率测定方法废止1996-06-041997-04-01
GB/T 3781.9-2006乙炔炭黑 第9部分:电阻率的测定废止2006-08-012007-01-01
GB/T 1551-2009硅单晶电阻率测定方法废止2009-10-302010-06-01
GB/T 24521-2009焦炭电阻率测定方法废止2009-10-302010-05-01
GB/T 12476.9-2010可燃性粉尘环境用电气设备 第9部分:试验方法 粉尘层电阻率的测定方法废止2010-08-092011-08-01
GB/T 1672-1988液体增塑剂体积电阻率的测定现行1988-02-231988-10-01
T/SBX 027-2019向列相热致液晶单体电阻率的测定 直流电压法现行2019-12-242020-02-01
YS/T 63.2-2023铝用炭素材料检测方法 第2部分:室温电阻率的测定现行2023-04-212023-11-01
GB/T 41606-2022钛酸钡基高抗电强度低电阻率热敏陶瓷现行2022-07-112023-02-01
MT/T 781-1998高分辨自动地电阻率仪通用技术条件现行1998-11-101999-04-01
DL/T 846.14-2023高电压测试设备通用技术条件 第14部分:绝缘油介质损耗因数及体积电阻率测试仪现行2023-05-262023-11-26
DB/T 33.1-2009地震地电观测方法 地电阻率观测 第1部分:单极距观测现行2009-02-092009-06-01