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半导体器件 微电子机械器件 第2部分：薄膜材料拉伸试验方法

Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Part 2: Tensile testing method of thin film materials

GB/T 42709.2-2026推荐性国家标准

即将实施

更新日期：2026-09-12
半导体器件微电子机械薄膜

标准状态

发布日期

2026-04-30

实施日期

2026-11-01

基础信息

标准号

GB/T 42709.2-2026

批准发布部门

工业和信息化部（电子）

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口

工业和信息化部（电子）

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

L40

国际标准分类号

31.200

标准层级

国家标准

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