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半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法

Test method for resistivity of semiconductor wafers and sheet resistance of semiconductor films—Noncontact eddy-current gauge

GB/T 6616-2023推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2023-08-06

实施日期

2024-03-01

基础信息

标准号

GB/T 6616-2023

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

H21

国际标准分类号

77.040

标准层级

国家标准

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