Test method for thickness and total thickness variation of silicon slices
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 6618-2009 | 硅片厚度和总厚度变化测试方法 | 现行 | 2010-06-01 | 找相似 |
| GB/T 30869-2014 | 太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法 | 现行 | 2015-02-01 | 找相似 |
| GB/T 29507-2013 | 硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法 | 现行 | 2014-02-01 | 找相似 |
| GB/T 40279-2021 | 硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法 | 现行 | 2022-03-01 | 找相似 |
| GB/T 11073-2007 | 硅片径向电阻率变化的测量方法 | 废止 | 2008-02-01 | 找相似 |
| GB/T 11073-2025 | 硅片径向电阻率变化测量方法 | 即将实施 | 2026-05-01 | 找相似 |
| GB/T 30857-2014 | 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法 | 现行 | 2015-04-01 | 找相似 |
| GB/T 30867-2014 | 碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法 | 废止 | 2015-02-01 | 找相似 |
| GB/T 26067-2010 | 硅片切口尺寸测试方法 | 现行 | 2011-10-01 | 找相似 |
| GB/T 6621-2009 | 硅片表面平整度测试方法 | 现行 | 2010-06-01 | 找相似 |
| GB/T 19922-2005 | 硅片局部平整度非接触式标准测试方法 | 现行 | 2006-04-01 | 找相似 |
| GB/T 6620-2009 | 硅片翘曲度非接触式测试方法 | 现行 | 2010-06-01 | 找相似 |
| GB/T 13388-2009 | 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法 | 现行 | 2010-06-01 | 找相似 |
| GB/T 6619-2009 | 硅片弯曲度测试方法 | 现行 | 2010-06-01 | 找相似 |
| GB/T 42789-2023 | 硅片表面光泽度的测试方法 | 现行 | 2024-03-01 | 找相似 |
| GB/T 30860-2014 | 太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法 | 现行 | 2015-04-01 | 找相似 |
| GB/T 30859-2014 | 太阳能电池用硅片翘曲度和波纹度测试方法 | 现行 | 2015-04-01 | 找相似 |
| GB/T 42789-2023 | 硅片表面光泽度的测试方法（外文版EN） | 现行 | —— | 找相似 |