硅片厚度和总厚度变化测试方法

Test method for thickness and total thickness variation of silicon slices

GB/T 6618-2009推荐性国家标准

现行

GB/T 6618-2009 相似标准 第3页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态实施日期相似标准
GB/T 30701-2014表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定现行2014-12-01找相似
GB/T 29505-2013硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法现行2014-02-01找相似
HG/T 5962-2021硅片切割废液处理处置方法现行2022-02-01找相似
GB/T 37051-2018太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法现行2019-04-01找相似
SJ/T 10627-1995通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法现行1995-10-01找相似
T/CPIA 0091-2024温室气体 产品碳足迹量化方法与要求 光伏硅片现行2024-12-30——
YS/T 26-2016硅片边缘轮廓检验方法现行2017-01-01找相似
SJ/T 11629-2016太阳能电池用硅片和电池片的在线光致发光分析方法现行2016-09-01找相似
GB/T 47906-2026300mm硅片表面纳米形貌的评价方法即将实施2027-02-01找相似
GB/T 14140-2009硅片直径测量方法废止2010-06-01找相似
YS/T 26-1992硅片边缘轮廓检验方法废止1993-01-01找相似
YY/T 0651.4-2025关节置换植入器械 全髋关节假体的磨损 第4部分:部件位置变化导致边缘加载条件下髋关节假体测试现行2026-10-01找相似
TY/T2003.2-2021运动面层性能测试方法 第2部分:厚度现行2022-01-01找相似
GB/T 15717-2021真空金属镀层厚度测试方法 电阻法现行2022-05-01找相似
GB/T 42674-2023光学功能薄膜 微结构厚度测试方法现行2024-03-01找相似
YS/T 839-2012硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法现行2013-03-01找相似
GB/T 32278-2025碳化硅单晶片厚度和平整度测试方法现行2026-02-01找相似
SJ/T 10171.1-1991碱性蓄电池隔膜性能测试方法 隔膜厚度的测定现行1991-12-01找相似