Test method for thickness and fltaness of monocrystalline silicon carbide wafers
现行
2025-08-01
2026-02-01
GB/T 32278-2025
国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
H21
77.040
国家标准
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/IAWBS 001-2017 | 碳化硅单晶 | 现行 | 2017-12-20 | 2017-12-31 |
| GB/T 34520.8-2021 | 连续碳化硅纤维测试方法 第8部分：氧含量 | 现行 | 2021-08-20 | 2022-03-01 |
| T/CASAS 013-2021 | 碳化硅晶片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法 | 现行 | 2021-11-01 | 2021-12-01 |
| JB/T 13946-2020 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅 悬臂桨 | 现行 | 2020-04-16 | 2021-01-01 |
| JC/T 2013-2010 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅板 | 现行 | 2010-11-10 | 2011-03-01 |
| T/IAWBS 001-2021 | 碳化硅单晶 | 现行 | 2021-09-16 | 2021-09-23 |
| JC/T 2516-2019 | 砂磨机用反应烧结碳化硅内衬 | 现行 | 2019-05-02 | 2019-11-01 |
| JB/T 8340-2013 | 碳化硅特种制品 重结晶碳化硅热电偶保护管 | 现行 | 2013-04-25 | 2013-09-01 |
| JC/T 2656-2022 | 碳化硅陶瓷制品 工业计算机层析成像(CT)检测 | 现行 | 2022-09-30 | 2023-04-01 |
| JB/T 10449-2020 | 碳化硅特种制品 重结晶碳化硅 方梁 | 现行 | 2020-04-16 | 2021-01-01 |
| GB/T 47404-2026 | 碳化硅单晶 | 即将实施 | ||
| T/NXCL 011-2022 | 窑具用碳化硅微粉技术规范 | 现行 | 2022-11-18 | 2022-11-18 |
| JB/T 10152-2023 | 碳化硅特种制品 氮化硅结合碳化硅 板 | 现行 | 2023-12-29 | 2024-07-01 |
| GB/T 21944.2-2022 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第2部分：异形梁 | 现行 | 2022-07-11 | 2023-02-01 |
| T/IAWBS 007-2018 | 4H 碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法 | 现行 | 2018-12-06 | 2018-12-17 |
| YB/T 6113-2023 | 电加热炉碳化硅导热体 | 现行 | 2023-07-28 | 2024-02-01 |
| JB/T 10376-2013 | 碳化硅特种制品 氧化硅结合碳化硅板 | 现行 | 2013-04-25 | 2013-09-01 |
| T/IAWBS 002-2017 | 碳化硅外延片表面缺陷测试方法 | 现行 | 2017-12-20 | 2017-12-31 |
| GB/T 32978-2016 | 碳化硅质高温陶瓷过滤元件 | 现行 | 2016-08-29 | 2017-07-01 |
| GB/T 21944.1-2022 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第1部分：方梁 | 现行 | 2022-03-09 | 2022-10-01 |
| JB/T 14612-2023 | 碳化硅特种制品 硅碳棒电加热加速老化试验方法 | 现行 | 2023-12-29 | 2024-07-01 |
| JB/T 13309-2017 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅内衬与钢壳复合装置 | 现行 | 2017-11-07 | 2018-04-01 |
| T/IAWBS 014-2021 | 碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法 | 现行 | 2021-09-15 | 2021-09-22 |
| SN/T 1039-2020 | 进出口吨包装碳化硅取样制样方法 | 现行 | 2020-08-27 | 2021-03-01 |
| T/IAWBS 016-2022 | 碳化硅单晶片 X 射线双晶摇 摆曲线半高宽测试方法 | 现行 | 2022-03-17 | 2022-03-24 |
| DB37/T 2972-2017 | 非煤矿山企业安全生产风险分级管控体系细则 | 现行 | 2017-06-23 | 2017-07-23 |