碳化硅单晶

Monocrystalline Silicon Carbide

T/ZSA 72-2019制造业

现行

更新日期:2026-09-12

标准状态

发布日期

2019-12-31

实施日期

2020-03-01

基础信息

标准号

T/ZSA 72-2019

包含专利

否

标准分类

中国标准分类号

H80/84

国际标准分类号

29.045

标准层级

团体标准

适用范围

本标准规定了4H及6H碳化硅单晶必要的相关术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶。

主要技术内容

本标准规定了4H及6H碳化硅单晶必要的相关术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶。

起草单位

中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京天科合达半导体股份有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司、北京三平泰克科技有限责任公司、北京天科合达新材料有限公司、新疆天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所、中国科学院半导体研究所、中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京华进创威电子有限公司、河北同光晶体有限公司、山东大学、全球能源互联网研究院有限公司

起草人

陆敏、彭同华、郑红军、陈鹏、刘祎晨、王文军、林健、闫果果、刘春俊、何丽娟、钮应喜、彭燕

T/ZSA 72-2019 相关专题

T/ZSA 72-2019 相似标准

标准号标准名称状态发布日期实施日期
T/KLXH 0001-2019昆明市旅行社研学旅行服务规范现行2019-12-012019-12-01
SJ/T 12071-2025半导体器件 分立器件碳化硅二极管门类规范现行2025-12-192026-07-01
SJ/T 12070-2025半导体器件 分立器件 碳化硅二极管可靠性试验方法现行2025-12-192026-07-01
SJ/T 12069-2025半导体器件 分立器件 碳化硅二极管电参数测试方法现行2025-12-192026-07-01
SJ/T 12015-2025碳化硅颗粒铝合金基复合板现行2025-09-092026-03-01
JB/T 15530-2026碳化硅特种制品重结晶碳化硅辊棒即将实施2026-04-282026-11-02
T/IAWBS 021-2024碳化硅晶片边缘轮廓检验方法现行2024-04-012024-04-09
T/NXCL 001-2021精细陶瓷用亚微米碳化硅微粉现行2021-11-112021-11-11
T/NXCL 002-2021常压烧结碳化硅陶瓷防弹材料现行2021-11-112021-11-11
T/SAS 0008-2020轻量化碳化硅反射镜现行2020-11-202021-01-01
T/SAS 0009-2020轻量化碳化硅反射镜镜坯现行2020-11-202021-01-01
T/ZSA 72-2019碳化硅单晶现行2019-12-312020-03-01
T/CNIA 0011-2019气相沉积法碳化硅涂层现行2019-02-132019-06-01
T/IAWBS 005-20186 英寸碳化硅单晶抛光片现行2018-12-062018-12-17
T/CASAS 001-2018碳化硅肖特基势垒二极管通用技术规范现行2018-09-212018-09-21
DB62/ 2597-2015碳化硅单位产品能耗限额现行2015-10-162016-01-01
YS/T 1776-2025热敏打印用碳-碳化硅靶材现行2025-04-102025-11-01
JB/T 10891-2025碳化硅特种制品 氮化硅结合碳化硅 方梁现行2025-05-092025-11-01
JB/T 10698-2025碳化硅特种制品 重结晶碳化硅 板现行2025-05-092025-11-01
T/IAWBS 003-2017碳化硅外延层载流子浓度测定_汞探针电容-电压法现行2017-12-202017-12-31