硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法

YS/T 839-2012 YS有色金属

现行

标准状态

发布日期

2012-11-07

实施日期

2013-03-01

基础信息

标准号

YS/T 839-2012

批准发布部门

工业和信息化部

技术归口

全国有色金属标准化中心

制修订

制定

标准分类

中国标准分类号

H68

国际标准分类号

77.120.99

标准类别

无

标准分类

有色金属

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

38133-2013

备案日期

2014-12-26

起草单位

中国计量科学研究院、有研半导体材料股份有限公司等股份有限公司

起草人

高英、武斌等

专题

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