硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法

YS/T 839-2012 YS有色金属

现行

标准状态

发布日期

2012-11-07

实施日期

2013-03-01

基础信息

标准号

YS/T 839-2012

批准发布部门

工业和信息化部

技术归口

全国有色金属标准化中心

制修订

制定

标准分类

中国标准分类号

H68

国际标准分类号

77.120.99

标准类别

标准分类

有色金属

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

38133-2013

备案日期

2014-12-26

起草单位

中国计量科学研究院、有研半导体材料股份有限公司等股份有限公司

起草人

高英、武斌 等

YS/T 839-2012 相关专题

YS/T 839-2012 相似标准

标准号 标准名称 状态 发布日期 实施日期
T/CASAS 014-2021 碳化硅衬底基平面弯曲的测定 高分辨X射线衍射法 现行 2021-11-01 2021-12-01
GB/T 47089-2026 蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法 即将实施 2026-01-28 2026-08-01
DB32/T 4378-2022 衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法 现行 2022-10-23 2022-11-23
SJ/T 11868-2022 衬底蓝光功率发光二极管芯片详细规范 现行 2022-10-20 2023-01-01
T/ZZB 2332-2021 发光二极管用蓝宝石衬底抛光片 现行 2021-08-30 2021-09-30
SJ/T 11867-2022 衬底蓝光小功率发光二极管详细规范 现行 2022-10-20 2023-01-01
T/ZJCX 0049-2024 碳化硅衬底激光剥离设备 现行 2024-12-24 2024-12-25
GB/T 41751-2022 氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法 现行 2022-10-14 2023-02-01
GB/T 30858-2014 蓝宝石单晶衬底抛光片 废止 2014-07-24 2015-04-01
GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法 现行 2018-09-17 2019-06-01
GB/T 43662-2024 蓝宝石图形化衬底 现行 2024-03-15 2024-10-01
GB/T 24580-2009 重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法 现行 2009-10-30 2010-06-01
SJ/T 11864-2022 半绝缘型碳化硅单晶衬底 现行 2022-10-20 2023-01-01
GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范 现行 2018-12-28 2019-07-01
GB/T 31353-2014 蓝宝石衬底片弯曲度测试方法 现行 2014-12-31 2015-09-01
GB/T 30855-2014 LED外延芯片用磷化镓衬底 现行 2014-07-24 2015-04-01
T/CASAS 004.2-2018 4H碳化硅衬底及外延层缺陷图谱 现行 2018-11-20 2018-11-20
GB/T 30861-2014 太阳能电池用锗衬底 现行 2014-07-24 2015-04-01
GB/T 30856-2025 LED外延芯片用砷化镓衬底 现行 2025-08-01 2026-02-01
GB/T 33826-2017 玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法 现行 2017-05-31 2017-12-01
GB/T 30858-2025 蓝宝石单晶衬底抛光片 即将实施 2025-10-31 2026-05-01
SJ/T 11865-2022 功率器件用φ150mm n型碳化硅衬底 现行 2022-10-20 2023-01-01
GB/T 32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法 现行 2015-12-10 2016-11-01
SJ/T 11869-2022 衬底白光功率发光二极管芯片详细规范 现行 2022-10-20 2023-01-01
YS/T 1653-2023 氮化镓衬底 现行 2023-12-20 2024-07-01
YS/T 63.9-2012 铝用炭素材料检测方法 第9部分:真密度的测定 氦比重计法 现行 2012-05-24 2012-11-01