Test method for surface roughness of GaN single crystal substrate by atomic force microscope
现行
2015-12-10
2016-11-01
GB/T 32189-2015
国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
H21
77.040
国家标准
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
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| SJ/T 11498-2015 | 重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| GB/T 37053-2018 | 氮化镓外延片及衬底片通用规范 | 现行 | 2018-12-28 | 2019-07-01 |
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