Test method for surface roughness of GaN single crystal substrate by atomic force microscope
现行
2015-12-10
2016-11-01
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
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| T/CASAS 004.2-2018 | 4H碳化硅衬底及外延层缺陷图谱 | 现行 | 2018-11-20 | 2018-11-20 |
| T/CASAS 004.1-2018 | 4H碳化硅衬底及外延层缺陷术语 | 现行 | 2018-11-20 | 2018-11-20 |
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| GB/T 13843-1992 | 蓝宝石单晶抛光衬底片 | 废止 | 1992-12-28 | 1993-08-01 |
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| SJ/T 11493-2015 | 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法 | 废止 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
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