氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法

Test method for surface roughness of GaN single crystal substrate by atomic force microscope

GB/T 32189-2015 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2015-12-10

实施日期

2016-11-01

基础信息

标准号

GB/T 32189-2015

批准发布部门

国家标准委

发布部门

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

H21

国际标准分类号

77.040

标准层级

国家标准

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