重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法

Test method for measuring boron contamination in heavily doped n-type silicon substrates by secondary ion mass spectrometry

GB/T 24580-2009推荐性国家标准

现行

更新日期:2026-02-21

标准状态

发布日期

2009-10-30

实施日期

2010-06-01

基础信息

标准号

GB/T 24580-2009

批准发布部门

国家标准委

技术归口

国家标准委

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

H80

国际标准分类号

29.045

标准层级

国家标准

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