重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法

Test method for measuring boron contamination in heavily doped n-type silicon substrates by secondary ion mass spectrometry

GB/T 24580-2009 推荐性国家标准

现行

标准状态

2009-10-30

2010-06-01

GB/T 24580-2009

国家标准委

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

国家标准委

该标准采用国际标准

H80

29.045

国家标准

标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
GB/T 30861-2014	太阳能电池用锗衬底片	现行	2014-07-24	2015-04-01
GB/T 24576-2009	高分辩率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法	现行	2009-10-30	2010-06-01
GB/T 32189-2015	氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法	现行	2015-12-10	2016-11-01
GB/T 17187-2009	农业灌溉设备滴头和滴灌管技术规范和试验方法	现行	2009-11-30	2010-04-01
GB/T 24534.4-2009	谷物与豆类隐蔽性昆虫感染的测定第4部分：快速方法	现行	2009-10-30	2009-12-01