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重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法

SJ/T 11498-2015 SJ电子

现行

标准状态

发布日期

2015-04-30

实施日期

2015-10-01

基础信息

标准号

SJ/T 11498-2015

批准发布部门

工业和信息化部

技术归口

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

制修订

制定

标准分类

中国标准分类号

H82

国际标准分类号

29.045

标准类别

方法标准

标准分类

电子

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

50555-2015

备案日期

2015-07-08

起草单位

信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等

起草人

何友琴、马农农、何秀坤 等

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