玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法

Measurement of nanofilm thickness on glass substrate—Profilometric method

GB/T 33826-2017 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2017-05-31

实施日期

2017-12-01

基础信息

标准号

GB/T 33826-2017

批准发布部门

中国科学院

发布部门

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

中国科学院

标准分类

中国标准分类号

Q34

国际标准分类号

71.040.99

标准层级

国家标准

专题

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