硅片直径测量方法

Test method for measuring diameter of semiconductor wafer

GB/T 14140-2009推荐性国家标准

废止

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更新日期:2026-07-27

标准状态

发布日期

2009-10-30

实施日期

2010-06-01

基础信息

标准分类

中国标准分类号

H82

国际标准分类号

29.045

标准层级

国家标准

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