硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法

Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers by non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance

GB/T 26068-2010推荐性国家标准

废止

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更新日期:2026-08-08

标准状态

发布日期

2011-01-10

实施日期

2011-10-01

基础信息

标准分类

中国标准分类号

H80

国际标准分类号

29.045

标准层级

国家标准

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