| GB/T 43612-2023 | 碳化硅晶体材料缺陷图谱 | 现行 | 2023-12-28 | 2024-07-01 |
| GB/T 26067-2010 | 硅片切口尺寸测试方法 | 现行 | 2011-01-10 | 2011-10-01 |
| GB/T 29507-2013 | 硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法 | 现行 | 2013-05-09 | 2014-02-01 |
| GB/T 26065-2010 | 硅单晶抛光试验片规范 | 现行 | 2011-01-10 | 2011-10-01 |
| GB/T 32279-2015 | 硅片订货单格式输入规范 | 现行 | 2015-12-10 | 2017-01-01 |
| GB/T 6624-2009 | 硅抛光片表面质量目测检验方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 6621-2009 | 硅片表面平整度测试方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 14844-2018 | 半导体材料牌号表示方法 | 现行 | 2018-12-28 | 2019-11-01 |
| GB/T 16595-2019 | 晶片通用网格规范 | 现行 | 2019-03-25 | 2020-02-01 |
| GB/T 6618-2009 | 硅片厚度和总厚度变化测试方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 1554-2009 | 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 13389-2014 | 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程 | 现行 | 2014-12-31 | 2015-09-01 |
| GB/T 24577-2009 | 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 24574-2009 | 硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 24576-2009 | 高分辩率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 13388-2009 | 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 6619-2009 | 硅片弯曲度测试方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 13387-2009 | 硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 24579-2009 | 酸浸取 原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属污染物 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 24575-2009 | 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |